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日本SMC真空泵的特点：
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
日本SMC真空泵的操作流程：
1、操作前的准备工作：
首先应将设备放置在水平、通风、干燥处，将真空机组抽气口与被抽系统连接好，密封一定要严密，不应有泄漏点存在。检查真空泵和罗茨泵内的油位及油杯中的润滑油是否符合要求，连接好电源线和接地线。检查是否有其他不安全因素。
2、操作机组的启动运行：
接通主电源开关，主电源指示灯亮；将控制方式放在手动或自动位置；按下控制电源按钮，指示灯亮(真空泵、增压泵和急停按钮应复位，否则控制电源按钮无法接通)，如电源相序错误黄色指示灯亮，则需换相。将真空泵断路器接通，按下真空泵控制按钮，真空泵指示灯亮，同时真空泵运转。
根据实际情况调节增压泵的延时(通过时间继电器，调节范围在1—6分钟)。将增压泵断路器接通，按下增压泵控制按钮，增压泵指示灯亮，同时增压泵运转。油井内设有油位开关，当油井进人真空泵油或变压器油时控制面板上的蜂呜器将自动报警，同时系统关闭。
3、关机停运：
关闭高真空蝶阀一关闭机械增压泵一关闭真空泵一按急停按钮，控制电源关闭一关主电源断路器。当控制方式通过控制盘上的旋钮转换到自动位置时，设备将通过真空继电器的预设控制点自动控制真空泵和机械增压泵的关闭和启动。
